松原专业电子注生产厂家

电子束熔炼炉(EBCHR)：这一工艺对于活性金属尤其是钛的处理和回收具有重要意义。材料在水冷铜床的后部进行滴熔，然后从熔炼区流入精炼区，终溢流到抽模中。在熔融材料停留于炉腔系统的时间内，除了以上所述的精炼机构外，高密度和低密度的夹杂物（HDI、LDI）也可进行重力分离，炉膛尺寸必须适中，可为熔融金属提供充分的停留时间。炉膛系统和模具的尺寸以及熔体速率将决定提供熔炼功率的EB枪的数量以及沿着炉膛和模具区域的能量分配。

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通过对比VAR和EBCHR两种熔炼设备性能和熔炼效果，从中不难发现EBCHR有其独特的特点和优势：可以采用多种形式的原材料，无需制备电极，缩短了原料准备时间。能够大量使用经济的原材料，如含有碳化钨杂质的切削料，残料添加比例可达100％。能够有效去除易挥发杂质以及HDI和LDI。钛熔体长时间大面积暴露在真空下，可有效去除易挥发杂质，使H、Cl、Ca、Mg、K等杂质达到很低的水平；在炉床中，低密度夹杂(如TiN)可以溶解或上浮，高密度夹杂(如WC)可以下沉，粘结到底部的凝壳上。通过控制功率密度，控制钛熔体在炉床中的停留时间，保证合金元素充分均匀化，避免偏析，且熔炼过程灵活，可根据需要而停止。

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电子束热效应是将电子束的动能在材料表面转化成热能以实现对材料的加工，其中包括:①电子束精微加工，可完成打孔、切缝和刻槽等工艺，这种设备一般都采用微机控制，并且常为一机多用。电子束焊接与其他电子束加工设备不同之处在于，除高真空电子束焊机之外，还有低真空、非真空和局部真空等类型;③电子束镀膜，可蒸镀金属膜和介质膜;④电子束熔炼，包括难熔金属的精炼，合金材料的制造以及超纯单晶体的拉制等;⑤电子束热处理，包括金属材料的局部热处理以及对离子注人后半导体材料的退火等。上述各种电子束加工总称为高能量密度电子束加工。

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电子束轰击炉特点是：可以达到很高的功率密度，大可达106W/cm2，用于熔炼高熔点材料，工件自身淬火金属热处理及进行快速表面硬化。控制方便、精度高，只要调节一下通过聚焦线圈的电流，电子束的加热面积就能改变至100倍以上，电子束的功率密度、方向、轰击时间等都可以*确凋节和控制，可用于选择性硬化处理；电子束轰击加热．需要在发射器和待加热物之问产生受控制的电流，这只有在真空中才能做到。炉料在真空室内进行加热或熔化，除气好、无耐火材料污染，熔炼的材料纯度高；工作时产生X射线，需采取防护措施；没备和技术比较复杂。

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电子束加工设备原理及特点：由于电子束能够极其微细地聚焦(束径可达微米级)且在微小面积上叮达到很大的功率密度，因此在轰击点处的瞬时温庋可达数千度高温，足以使任何材料熔化或气化。电子束可用来加工任何材料的徵孔或窄缝、半导体电路等，是一种精密徽细加工方法。由于电子束的瞬时热能作用在极徽小面积上，所以加工部位的热影响区很小在加工过程中无机械力作用，故加工后不产生受力变形;此外电子束加工也不存在工具消耗问题所以它的加工梢度高、表面质量也好。