随着电子束冷床熔炼炉（EB炉）在世界范围内钛行业的普遍应用，其作为一种先进的钛及钛合金熔炼设备，具有真空自耗电弧炉VAR炉不可比拟的优势。电子束熔炼由于EB炉在＜0.1Pa的真空度下工作，可以有效避免熔炼过程中的增氧增氮，并具有良好的脱氢能力，氧氮含量基本和原材料保持一致，氢含量均≤0.001%。真空电子束熔炼同时冷床结构能够有效去除原材料中的高、低密度夹杂，从而生产出优质的成分均匀的高纯钛铸锭。

根据电子束流的产生原理，电子束加工具有如下特点：1)电子束发射器发射的电子束流束斑极小，且可控，可以用于精密加工；2)对于各种不同的被处理材料，其效率可高达75%一98%，而所需的功率则较低；3)能量的发生和供应源可*确地灵活移动，并具有高的加工生产率；4)可方便地控制能量束，实现加工自动化。真空电子束熔炼设备的使用具有高度灵活性，并可使用同一台设备进行电子束焊接、表面改善处理和其他电子束加工设备。电子束加工是在真空状态下进行，对环境几乎没有污染。电子束熔炼电子束加工对设备和系统的真空度要求较高，使得电子束加工价格昂贵，一定程度上限制了其在生产中的应用。

电子束熔炼炉主要是利用电子束所发出的巨大热能作为熔炼或合金的热源进行冶炼。它与真空感应炉、真空电弧炉所起的作用相同。由于熔炼的价格昂贵，所以只用于难熔金属、活泼金属或合金的熔炼。电子束熔炼一般金属大多在其它真空炉中冶炼。对于需要高温以及对于要严格防止污染等特殊的场合下，有时也用电子束炉来熔解、精炼和铸锭，其效果是很好的。电子束熔炼炉用真空系统与真空电弧炉的主要区别在于：在真空电弧炉中熔炼金属或合金时，热量的来源来自电极和自耗电极之间的电弧。电子束熔炼设备而电子束熔炼炉中熔炼各种材料的热量来源于电子枪发出的具有高能密度的电子束。电子束熔炼可以避免电极的污染，还可以保持熔池，从而可以进行彻底的纯化，熔炼材料的形状不受限制。

真空电子束熔炼的工艺特点是在高真空环境下进行熔炼(熔炼真空度一般在10至10Pa)，熔炼时熔池的温度及其分布可控，熔池的维持时间可在很大的范围内调整。电子束熔炼熔炼是在水冷铜坩埚(结晶器)内进行的，可以有效地避免金属液被耐火材料污染。电子束熔炼设备因此可以说，电子束熔炼为一些金属材料、特别是难熔金属提供了一种不可缺少的精炼手段。